簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "太陽能".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="磊晶"


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    以化學氣相沉積法於矽晶基材上的碳化矽及鍺異質磊晶成長之研究
    • 化學工程系 /97/ 博士
    • 研究生: 劉智生 指導教授: 洪儒生
    • 本論文的主題分為四部分: (1)以SiH4、C2H2和H2為反應物的低壓化學氣相沉積系統探討Si(111)上碳化緩衝層表面的石墨化及其對成長3C-SiC(111)磊晶膜的影響之研究; (2)以SiH…
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